等离子体化学气相沉积
PECVD化学气相沉积

通过等离子体化学气相沉积产生的高硬度新型硼材料

阿拉巴马大学伯明翰分校的Yogesh Vohra博士利用微波-等离
cvd化学气相沉积

中国科学院大学:通过等离子体增强化学气相沉积法制备T-碳

通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在多晶立方金刚石和高温高
微波等离子体清洗

华慧高芯知识库_PECVD等离子体增强化学气相沉积浅析

为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应

相关热点